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技術(shù)文章
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PGI泰勒霍普森輪廓儀原理及測(cè)量信息
點(diǎn)擊次數(shù)：161 更新時(shí)間：2025-12-11
泰勒霍普森 PGI (Precision Geometric Instrument) 輪廓儀是英國(guó)泰勒霍普森公司 (Taylor Hobson) 開(kāi)發(fā)的高精度表面測(cè)量設(shè)備，主要用于表面粗糙度、輪廓形狀、三維形貌和直徑測(cè)量，精度可達(dá)亞納米級(jí)(0.01nm)
核心技術(shù)與原理
PGI 技術(shù)全稱 "相位光柵干涉儀"(Phase Grating Interferometer)，是泰勒霍普森的測(cè)量技術(shù)，具有革命性優(yōu)勢(shì)：
突破性測(cè)量能力：可使用短測(cè)針測(cè)量大垂度 (sag)，實(shí)現(xiàn)高剛度與低測(cè)力結(jié)合，大幅提升測(cè)量精度和重復(fù)性
工作原理：通過(guò)光柵衍射產(chǎn)生的干涉條紋變化精確計(jì)算表面輪廓，將機(jī)械位移轉(zhuǎn)化為光學(xué)相位差進(jìn)行測(cè)量，垂直分辨率達(dá)0.01nm，測(cè)量線性度達(dá) **±0.1%**
Form Talysurf PGI NOVUS
雙向測(cè)量：獨(dú)特的NOVUS 傳感器在正向和反向以相同精度測(cè)量，一次完成上下表面測(cè)量
測(cè)量范圍：20mm 量程，分辨率 0.2nm，適用于軸承、噴油器、精密零件等多種工業(yè)應(yīng)用
軟件支持：搭載Metrology 4.0 智能軟件，提供虛擬顯示、智能移動(dòng)和變量編程功能，簡(jiǎn)化復(fù)雜測(cè)量
